Smart wingi mtiririko mita mdhibiti wa mtiririko wa kiasi kidogo Moto gesi wingi mtiririko mita
Matumizi na sifa
Mdhibiti wa mtiririko wa wingi (MFC) hutumiwa kupima na kudhibiti mtiririko wa wingi wa gesi kwa usahihi. Wao wana jukumu muhimu katika utafiti na uzalishaji katika viwanda vya semiconductor na Integrated Circuit, taaluma maalum vifaa, viwanda vya kemikali, kuna viwanda, dawa, *** na taa utupu katika maeneo mbalimbali. Matumizi yake ya kawaida ni pamoja na: vifaa vya michakato ya elektroniki, kama vile kuenea, kuenea, CVD、 oxidation, plasma engraving, sputtering, ion sindano; na vifaa mipako, fiber kuchenyuka, vifaa microreaction, mchanganyiko wa gesi mgawanyiko mfumo, capillary kupima, gesi chromatography na vifaa vingine uchambuzi.
Viashiria kuu vya kiufundi
Vipimo mbalimbali (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Usahihi +1.5% F.S
Linear + 0.5 ~ 1.5% FS
Kurudi usahihi +0.2% FS
Muda wa majibu 10sec gesi sifa: (1 ~ 4) sec
Kufanya kazi shinikizo tofauti 0.1 ~ 0.5MPa
shinikizo 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Joto la mazingira ya kazi 0 ~ 70 ℃
idadi ya digital RS485 MODBUS itifaki
Analog kiwango DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA chaguo
Vipengele vya umeme: SLM
Power Supply DC + 15V / 24V chaguo, mtiririko mita <50mA, controller <200mA
Uhusiano wa umeme DB15
Kiwango cha kuvunja 1 × 10 SCCSHe
Msingi vifaa 316L chuma cha pua
vifaa muhuri Fluorine mpira, Fine mpira, Neoprene
Viunganishi vya njia ya hewa Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Kumbuka: Vipimo vya mtiririko wa wingi na wadhibiti wa mtiririko wa wingi wa kiwanda kwa kawaida hupimwa na nitrojeni (N₂).
Kitengo cha mtiririko wa wingi ni: SCCM (standard ml / min); SLM (Kiwango cha lita / dakika)
Smart wingi mtiririko mita mdhibiti wa mtiririko wa kiasi kidogo Moto gesi wingi mtiririko mita