Microscope ya nguvu za nyuklia ya Park Systems XE-15

Maelezo ya vifaa:

Park XE-15 ina sambamba kamili ya sampuli. Miundo yake ya sampuli mbalimbali imeundwa kutoa mazingira ya mtihani rahisi na ya kuaminika kwa ukubwa tofauti, sura, na idadi ya sampuli. decoupled closed loop XY scanner kuondoa makosa ya athari bending, kutoa linearity. Hali halisi ya kupima isiyo ya kuwasiliana inaongeza aina inayofaa kwa sampuli wakati huo huongeza sana maisha ya uchunguzi na kupunguza gharama za matumizi.

Park Systems nyuklia nguvu microscope XE-15 vigezo vya kiufundi:

Scanner ya

Scanner ya XY

Flexible kuongoza kuzunguka kudhibiti moja module scanner

Scanning mbalimbali 100μm * 100μm (chaguo 50μm * 50μm)

Offset ya anga: <2nm (40μm * 40μm Scan)

Scanner ya Z

Flexible kuongoza nguvu scanner

Scanning mbalimbali 12μm (chaguo 25μm)

Frequency ya resonance: > 5kHz

kelele ya picha ya uso: 0.03nm

Mfano wa Benki

Aina ya sampuli ya meza: 16bit sampuli meza / 150mm diameter utupu adsorption meza (chaguo 200mm diameter utupu adsorption meza)

Ukubwa wa sampuli: 150mm * 150mm * 20mm

Uzito wa sampuli: zui kubwa 500g

Mfano meza kuhamia mbalimbali: 150mm * 150mm (chaguo 200mm * 200mm)

Sifa kuu:

1, ubunifu multi-nafasi sampuli meza kubuni, kutoa ufanisi wa kazi

● kazi moja zui inaweza kupima sampuli zaidi ya 16

● Sample kuweka rahisi, Scan haraka

Kuboresha usahihi na kurudia data

Msaada wa sampuli kubwa sana ili kukidhi mahitaji ya maendeleo ya sekta

● zui kubwa msaada 200 mm wafer, kukidhi mahitaji ya sasa na baadaye ya watumiaji

● kubuni maalum ya kukidhi mahitaji halisi ya watumiaji semiconductor kuhusiana

Uchaguzi mwingi wa mode ya kazi

● Kuboresha msaada wa kazi mbalimbali SPM

● Inasaidia njia mbalimbali za kupima chaguzi

● Support mbalimbali vifaa chaguo, kupanua utendaji bora